一种3D微纳结构及微纳器件直写技术（河南大学）

发布日期：2024-10-21　　来源：开封市科学院浏览量：

成果简介：3D微纳结构在集成电路、超材料、MEMS等领域具有重要应用前景。而微纳尺度下的形貌和结构构筑受到表面张力(毛细作用)的支配。故采用何种驱动力，协同表面张力实现对材料原子扩散通量、迁移方向及积聚位置调控是3D微纳结构可控构筑的关键。本项目利用电子束在材料表面的空间电势限域效应，精确地控制材料原子的断键脱附、迁移和积聚过程，直写3D微纳结构，成功解决了3D微纳结构与器件直写难题；发明专利3项，同族美国发明1项。

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